钱很多，作为资金时，可以储存很多东西：物资，人力，自由，时间，知识。

有钱，意味着有选择。

有选择，意味着机会，也意味着自由。

而自由的真正价值，更体现在，我可以不要什么，或者我可以不干什么。

当你有足够多的钱，可以购买任何必需的商品或者服务。

就不需要再耗费自己的时间去进行生产，那你的时间就有了富余。

这样看来，攒钱等于攒命。

知识可以通过教育获得，可是教育有成本。

攒钱，也要时间。

一部分成年人，知道教育和知识的重要性。

但更多成年人统一的困境是，我也想学，但没有这份时间预算。

当下是时间的储存手段，那钱也是知识的储存手段。

只是看起来没那么直接，并且需要真正的自我教育愿望作为前提。

最后我们会发现，攒钱不仅是攒命，也是在攒脑子。

钱可以储存万物，也可以是生产资料的组成方式。

换个说法，钱就是生产资料。钱也是最灵活的生产资料。

而人对世界的理解，很多时候完全取决于对关键概念的理解。

比如，钱就是这样一种关键概念。

掌握了关键概念，世界从此就不一样了。

共勉。

IEEE \半导体行业观察;) 2024-06-13 08:45 安徽

半导体行业观察

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随着英特尔、三星、台积电以及日本即将落成的先进晶圆代工厂 Rapidus尽管各家公司都各自准备将越来越多的晶体管塞进每平方毫米的硅片中，但它们有一个共同点，那就是它们所依赖的极紫外 (EUV) 光刻技术极其复杂、极其昂贵，而且操作成本极高。主要原因是，该系统的 13.5 纳米光的来源是使用地球上最强大的商用激光器喷射飞散的熔融锡滴的精确且昂贵的过程。

但一种非常规替代方案正在酝酿之中。日本筑波高能加速器研究组织（KEK）的一组研究人员认为，如果利用粒子加速器的能量，EUV 光刻技术可能会更便宜、更快速、更高效。

甚至在晶圆厂安装首批 EUV 机器之前，研究人员就看到了使用粒子加速器产生的强大光源（ 自由电子激光 (FEL:free-electron laser)）进行 EUV 光刻的可能性。然而，KEK 的科学家表示，并不是任何粒子加速器都可以做到这一点。他们声称，EUV 光刻的最佳候选方案是采用粒子加速器版本的再生制动（原文：They claim the best candidate for EUV lithography incorporates the particle-accelerator version of regenerative braking）。它被称为能量回收线性加速器（energy recovery linear accelerator），可以使自由电子激光经济地产生数十千瓦的 EUV 功率。这足以同时驱动不止一台而是多台下一代光刻机，从而降低先进芯片制造的成本。

KEK 先进光源研究员 Norio Nakamura在参观该设施时告诉我：“FEL 光束的极高功率、较窄的光谱宽度以及其他特性使其非常适合用于未来的光刻技术。”

直线加速器与激光等离子体

当今的 EUV 系统仅由一家制造商制造， 即总部位于荷兰费尔德霍芬的ASML。当 ASML 于 2016 年推出第一代这种价值 1 亿美元以上的精密机器时，业界对它们的需求非常迫切。芯片制造商一直在尝试各种变通方法，以应对当时最先进的系统，即使用 193 纳米光的光刻技术。转向更短的 13.5 纳米波长是一场革命，它将减少芯片制造所需的步骤数量，并使摩尔定律在下一个十年继续有效。

持续延迟的主要原因 是光源太暗。最终能够提供足够明亮的 EUV 光源的技术称为激光等离子体 (EUV-LPP)。它使用二氧化碳激光器每秒数千次将熔融的锡滴喷射成等离子体。等离子体发射出光子能量光谱，然后专用光学器件从光谱中捕获必要的 13.5 纳米波长，并将其引导通过一系列镜子。

随后，EUV 光从图案化掩模上反射，然后投射到硅晶片上。

KEK 的实验性紧凑型能量回收直线加速器利用电子返回过程中的大部分能量来加速一组新电子

所有这些加起来就是一个高度复杂的过程。尽管它从耗电量高达千瓦的激光器开始，但反射到晶圆上的 EUV 光量只有几瓦。光线越暗，在硅片上可靠地曝光图案所需的时间就越长。如果没有足够的光子携带图案，EUV 的速度会不经济。而过分追求速度可能会导致代价高昂的错误。

在刚机器刚推出时，功率水平足以每小时处理约 100 片晶圆。从那时起，ASML 已成功将当前系列机器的产量稳步提高到每小时约 200 片晶圆。

ASML 目前的光源额定功率为 500 瓦。但 Nakamura 表示，未来需要更精细的图案，可能需要 1 千瓦或更高功率。ASML 表示，它有开发 1,000 瓦光源的路线图。但这可能很难实现，Nakamura 表示，他曾领导 KEK 的光束动力学和磁铁小组，退休后重新开始从事 EUV 项目。

很难，但并非不可能。印第安纳州普渡大学极端环境下材料研究中心主任艾哈迈德·哈萨尼恩 (Ahmed Hassanein)表示，将光源功率翻倍“非常具有挑战性” 。但他指出，ASML 过去曾通过改进和优化光源和其他组件的综合方法实现了类似的高难度目标，他不排除重复这一做法的可能性。

在自由电子激光器中，加速电子受到交变磁场的影响，导致它们波动并发射电磁辐射。辐射将电子聚集在一起，导致它们仅放大特定波长，从而产生激光束。

但亮度并不是 ASML 在激光等离子源方面面临的唯一问题。“升级到更高的 EUV 功率时，存在许多挑战性问题，”Hassanein 说。他列举了几个问题，包括“污染、波长纯度和镜面收集系统的性能。”

另一个问题是高昂的运营成本。这些系统每分钟消耗约 600 升氢气，其中大部分用于防止锡和其他污染物进入光学元件和晶圆。（不过，回收可以降低这一数字。）

但最终，运营成本还是取决于电力消耗。弗吉尼亚州托马斯·杰斐逊国家加速器设施最近退休的高级研究员斯蒂芬·本森(Stephen Benson) 估计，整个 EUV-LPP 系统的电光转换效率可能不到 0.1%。他说，像 KEK 正在开发的这种自由电子激光器，其效率可能是前者的 10 到 100 倍。

能量回收直线加速器

KEK 正在开发的系统通过将电子加速到相对论速度，然后以特定方式偏离其运动来产生光。

中村解释说，这个过程始于电子枪将电子束注入一根数米长的低温冷却管。在这个管子里，超导体发出射频 (RF) 信号，驱动电子越来越快地移动。然后电子旋转 180 度，进入一个叫做波荡器的结构，这是一系列方向相反的磁铁。（KEK 系统目前有两个。）波荡器迫使高速电子沿正弦路径运动，这种运动导致电子发光。

在线性加速器中，注入的电子从射频场获得能量。通常，电子随后会进入自由电子激光器，并立即被处理到束流收集器中。但在能量恢复线性加速器 (ERL) 中，电子会回到射频场，并将其能量借给新注入的电子，然后再进入束流收集器。（文后附详细说明）

接下来发生的现象称为自放大自发辐射（SASE：self-amplified spontaneous emissions）。光与电子相互作用，减慢一些电子的速度，加快另一些电子的速度，因此它们聚集成“微束”（microbunches），即沿波荡器路径周期性出现的密度峰值。现在结构化的电子束只放大与这些微束周期同相的光，从而产生相干的激光束。

正是在这一点上，KEK 的紧凑型能量回收直线加速器 (cERL：compact energy recovery linac) 与传统直线加速器驱动的激光器有所不同。通常，耗尽的电子束是通过将粒子转移到所谓的束流 收集器中来处理的。但在 cERL 中，电子首先循环回到 RF 加速器。这束电子现在与刚开始旅程的新注入电子处于相反的相位。结果是耗尽的电子将大部分能量转移到新束流中，从而增强其能量。一旦原始电子的部分能量以这种方式耗尽，它们就会被转移到束流收集器中。

“直线加速器中的加速能量被回收，与普通直线加速器相比，被丢弃的光束功率大幅降低，”中村向我解释道，而另一间屋子的科学家正在操作激光器。他说，重复使用电子的能量意味着，在同样的电量下，系统可以通过加速器发送更多的电流，并且可以更频繁地发射激光器。

其他专家也同意这一观点。能量回收直线加速器的效率提高可以降低成本，“这是使用 EUV 激光产生等离子体的主要考虑因素”，Hassanein 说道。

EUV 能量回收直线加速器

KEK 紧凑型能量回收直线加速器最初于 2011 年至 2013 年间建造，旨在向该机构物理和材料科学部门的研究人员展示其作为同步辐射源的潜力。但研究人员对计划中的系统并不满意，因为它的性能目标低于一些基于存储环的同步加速器（巨大的圆形加速器，可保持电子束以恒定的动能移动）所能达到的水平。因此，KEK 研究人员开始寻找更合适的应用。在与当时拥有闪存芯片部门的东芝等日本科技公司交谈后，研究人员进行了初步研究，证实使用紧凑型能量回收直线加速器可以实现千瓦级光源。因此，EUV 自由电子激光器项目诞生了。2019 年和 2020 年，研究人员修改了现有的实验加速器，开始了 EUV 光之旅。

该系统被安置在一个全混凝土房间内，以保护研究人员免受运行时产生的强烈电磁辐射。房间长约 60 米，宽约 20 米，大部分空间被复杂的设备、管道和电缆所占据，这些设备、管道和电缆沿着房间两侧蜿蜒而行，形成一条细长的赛道。

该加速器目前还无法产生 EUV 波长。借助 17 兆电子伏特的电子束能量，研究人员能够以 20 微米红外光爆发的形式产生 SASE 辐射。早期测试结果于 2023 年 4 月发表在《日本应用物理学杂志》上。下一步工作正在进行中，即在连续波模式下产生更大的激光功率。

当然，20 微米与 13.5 纳米相差甚远。而且，目前已有多种类型的粒子加速器能够产生比 EUV 波长更短的同步辐射。但 KEK 研究人员声称，基于能量回收线性加速器的激光器由于其固有效率，可以产生更多 EUV 功率。在同步辐射源中，光强度与注入电子的数量成正比。相比之下，在自由电子激光系统中，光强度的增加大致与注入电子数量的平方成正比，从而产生更高的亮度和功率。

要使能量回收线性加速器达到 EUV 范围，需要进行设备升级，而 KEK 目前没有足够的空间来升级设备。因此，研究人员现在正在考虑构建一个可以产生所需 800 MeV 能量的新原型系统。

电子枪将电荷注入KEK的紧凑型能量回收线性加速器

2021 年，在严重的通货膨胀影响全球经济之前，KEK 团队估计，一套新系统的建设成本（不包括土地）为 400 亿日元（2.6 亿美元），该系统可提供 10 千瓦的 EUV 并为多台光刻机供电。年运行成本估计约为 40 亿日元。因此，即使考虑到最近的通货膨胀，“我们装置中每个曝光工具的估计成本与当今激光产生的等离子源的估计成本相比仍然相当低”，Nakamura 说。

Nakamura 承认，在这样的系统能够达到半导体制造商所要求的高性能和运行稳定性之前，还有很多技术挑战需要解决。该团队必须开发超导腔、电子枪和波荡器等关键部件的全新版本。工程师还必须开发良好的程序技术，以确保电子束在运行过程中不会衰减或失效等。

为了确保他们的方法具有足够的成本效益，以吸引芯片制造商的注意，研究人员需要创建一个可以可靠地同时向多台光刻机传输超过 1 千瓦 EUV 功率的系统。研究人员已经设计出一种特殊镜子的布置概念，这种镜子可以将 EUV 光传送到多个曝光工具，而不会造成功率损失或损坏镜子。

其他 EUV 可能性

对于快速扩张的芯片制造商来说，EUV 自由电子激光器的开发还为时过早，还不值得关注。但 KEK 团队并不是唯一追逐这项技术的团队。位于加州帕洛阿尔托、由风险投资支持的初创公司 xLight也在追逐这项技术的团队之列。该公司聚集了来自斯坦福线性加速器等机构的粒子加速器资深人士，最近与伊利诺伊州的费米国家加速器实验室签署了一项研发协议，以开发超导腔和低温模块技术。

据xLight介绍，公司成立的使命是打造一种能够彻底改变光刻、计量和检测的光源。他们表示，之所以有这个目标，是源于“美国必须重新夺回并保持半导体制造业的领导地位”这样的信念。

xLight开发了一种用于尖端半导体器件制造的极紫外 (EUV) 光源，在性能、生产率和可持续性方面具有显著的竞争优势。xLight 光源以成熟的粒子加速器技术为基础，系统工程专注于大批量制造要求。因此，这种新光源可靠地提供了能够改变当前制造工艺的功能和可调性，同时还实现了下一代架构和工艺节点所需的光刻、计量和检测功能。

xLight生成，其新型 EUV 光源将使美国在未来的半导体行业中占据领先地位。

记者试图联系 xLight，但没有得到答复，但在 1 月份，该公司参加了在东京举行的第 8 届 EUV-FEL 研讨会，前首席执行官 Erik Hosler就该技术进行了演讲。

值得注意的是，ASML 十年前就考虑过转向粒子加速器，最近在将自由电子激光技术的进展与激光等离子体路线图进行比较时，ASML 又考虑过转向粒子加速器。但公司高管认为 LLP 的风险较小。

事实上，这是一条充满风险的道路。独立人士对 KEK 项目的看法强调，可靠性和资金将是研究人员未来面临的最大挑战。“研发路线图将涉及许多苛刻的阶段，以开发出可靠、成熟的系统，”Hassanein 说。“这将需要大量投资，并需要相当长的时间。”

“机器设计必须极其坚固，并内置冗余，”退休研究科学家 Benson 补充道。设计还必须确保组件不会因辐射或激光而受损。”而且这必须“在不影响性能的情况下实现，性能必须足够好，以确保良好的电能转换效率。”

更重要的是，Benson 警告说，如果没有立即投资该技术的承诺，“EUV-FEL 的开发可能无法及时到来以帮助半导体行业。”

对啦，大家是否对这个方案似曾相识？因为早两年，国内自媒体就流传过一个相关方案。但当时的评论，大家可以翻一下报道。

一、情绪冰点期期（情绪低落期）：

在一轮明显的亏钱效应代表的退潮期之后，市场情绪会非常低迷，投资者对市场前景感到极度悲观，多空双方都没有了动力，情绪像结了冰一样，没有一点生机，偶有尝试也会失败。

1、主要特征：总龙头连续杀跌20-30%，涨停数量连续下降，甚至跌停家数超过了涨停家数，连板高度一直受压制，最高板下降至4板、3板甚至2板以下，龙头杀跌，补涨股也杀跌，一些看起来很好的板，次日根本无溢价，短线情绪极度冰点，市场没有主流热点，没有持续的赚钱效应，大部分热点都是一日游，可操作性极差，容易吃面。有些时期，情绪冰点以后还会有二冰、三冰。

2、总体操作策略：在此阶段，最佳的策略就是冷静、自信、坚定地观察、等待。等待混沌期头铁的前浪们的厮杀博弈结束，等待冰点、混沌期结束后，明显的启动期到来的信号。在此之前，多看少动，不当炮灰，禁止做高位板接力，直到情绪二冰过后，看到明显的多方信号。

二、情绪混沌、酝酿转启动期（情绪混沌酝酿转上升阶段）：

在情绪退潮期一轮极致的亏钱效应导致的市场情绪极致的悲观、冷却之后，随着做多情绪的慢慢积累，情绪逐渐转暖，从冰点转向混沌、酝酿做多转向启动，上一轮周期结束，新周期的种子开始萌发,对于市场的看法开始从一致的悲观到出现分歧，转入混沌、摸索、试探、酝酿启动阶段，市场情绪开始升温，投资者对于市场的前景逐渐开始乐观。这个阶段，一般出现在指数下跌末期或震荡筑底期

1、情绪启动期的主要特征：

随着一轮残酷的下跌，市场不再动辄出现天地大面，昨日涨停开盘无溢价直接闷杀或昨日涨停今天跌停的现象几乎绝迹，炸板股明显减少，开始出现代表情绪好转的大长腿，如果某只个股开始打破3板、4板的空间压制，逆势创出近期新高，且板块内个股走势都明显强于大盘，具有较强的板块效应，题材质量容量颇有想象空间，这很可能就是一轮新题材炒作的开始，领涨的就是龙头。

2、情绪启动期总体操作策略：

情绪混沌酝酿转启动期，可以考虑适当加仓，关注一些具有潜力的板块和个股。但是机会难于把握，需要一定的试错成本。初期，应该以做首板为主；中后期，可以小仓试错那些低位新起的、身位最高、竞价最强、有板块效应、有助攻的潜在龙头。

三、情绪发酵期（情绪扩散期）：

出现在情绪启动期之后，是行情确认，分歧转一致的过程。这个阶段市场情绪进一步升温，投资者对市场的信心逐渐增强。

1、情绪发酵期的主要特征：随着空间的进一步开拓，板块赚钱效应出现，连板股数量开始增多。

2、情绪发酵期操作策略：在情绪周期里面，最容易出妖股，最容易上车、赚钱的时期就是情绪发酵期和高潮期。这个阶段是龙头选手大展身手、上仓位的最关键阶段。在发酵期的初期，着重的是题材（属性）方向，要聚焦市场最主流热点的龙头，做不到一字龙可在启动期第一时间上同身位的换手票，其次再考虑龙二；在发酵期的中后期，可以考虑去做主流板块低位起涨的首板或2板票的补涨；

四、情绪高峰、亢奋期（情绪主升、高潮阶段）：

这个阶段投资者情绪非常高涨，信心爆棚，高潮达到亢奋，情绪到达顶峰，行情面临转折，风险即将来临。

此阶段市场主要特征分为两种：

1、如果指数处在下跌或震荡周期，情绪与与指数背离，则易形成一个小的上涨周期，一般只能维持一条主线展开，龙头不超过5板而且断板容易A杀，行情持续性不强。此阶段，盈利效应在于龙头抱团、低位套利，谨慎做1板的接力，少做1板以上中位股的缩量加速板；

2、如果指数处在上涨周期，情绪与与指数共振，则易形成一个大的上涨周期，如果题材够新，甚会出现主线+付线多板块主升+轮动甚至走二波（二阶段主升）的行情。这种大的上涨周期的特征是 ：“主涨属性”明确，总龙头确认，龙头股一路上涨，核心股连续缩量加速，龙头带跟风，跟风助龙头，板块出现批量涨停潮，涨停晋级率非常高，甚至大盘中军都能连续涨停，涨停数量连续上升，甚至没有了跌停，连板股空间高度不断打开，能达到6、7板以上，主线热点票霸屏。昨日成交金额前列皆是大涨；如果情绪配合，老龙即使断板也不A杀，资金会围绕主线题材进行横向、纵向的挖掘补涨股，会在现有大题材题材内部出现纵向或横向的高切低，出现一只补涨龙带动主线行情继续扩散，碰到“天时、地利、人和”同时具备的情况，新龙、低位一起涨，助推老龙、中位一起反包走二波。此阶段可以说各种模式都能赚钱，赚钱效应爆棚，容错率极高，市场情绪极度高潮。此时，投资者要注意风险控制，避免盲目追高，同时也要注意中位股分化跌停等风险信号的出现，逐渐去弱留强，兑现收益，降低仓位，拥抱核心，避免市场回调的风险。

3、情绪高峰、亢奋期操作策略 ：

情绪主升期，着重的是情绪，胆大重仓就是效益。竞价就抢龙头、抢一字涨停板，竞价不抢，你可能就买不到；做焦点中的焦点、做最闪亮的市场总龙头，如果总龙头大单一字（说明有确定性连板预期）不给机会，再考虑择强做低位1板、2板的卡位晋级或科创板的强势票，先上车套利，待龙头分歧再换车总龙头；总龙头涨到高位或者特停后，就围绕总龙头的主涨属性选择那些属性最正、股性最好的个股做补涨。此时一定要不惜血本、不惜代价抢先手买在启动点，因为前有总龙头打开的空间，减少了了分歧，补涨股的涨停会非常利索，甚至天天一字涨停，稍一犹豫就买不到。此阶段，分歧加仓总龙头，重仓持股待涨就是最佳策略；如果出现大的行情周期，龙头断板不A杀，资金会选择高切低的无缝衔接，应优先选择总龙头高位放量断板当天主线最强、身位领先、强度最高的低位股（一般与龙头差4个板），它可能就是主线题材的补涨龙或新题材的龙头；其次是用换手、成交金额、涨速等技术选择比补涨龙身位低、强度高的1进2或首板、科创板票做补涨龙的套利；第三是做承接良好的老龙头、中军、中位股的2波。

五、情绪退潮期（情绪降温阶段）：

这个阶段市场的亏钱效应逐渐加大，赚钱效应逐渐消失，情绪从一致的做多到开始出现分化降温，投资者对市场的信心逐渐减弱，直至崩溃。

退潮期开始的标志：退潮期的开始，出现在一段上升周期的末端，龙头还在走加速，低位也在补涨助攻，中位股却率先跳水，情绪出现强列的分歧、分化，如果这种强分歧和分化不能很快修复，亏钱效应和情绪会迅速扩散，一般要不了2天，龙头就会断板，如果龙头断板次日不能反包修复，退潮期就会迅速展开。退潮期的主要特征也分为两种：

1、如果指数处在下跌或震荡周期，情绪与与指数共振下跌，题材又比较小，其主要特征是：总龙头断板即A杀，龙头股、跟风股纷纷开始补跌，高位连板股接连出现亏钱效应，连扳高度逐步下降，炸板大面票、昨日涨停今天跌停、闷杀的票批量出现，尤其高位炸板股增多，极端的出现天地板大面，低位股快速轮动，持续性极差；

2、如果情绪与指数处于不同的周期，指数与情绪背离，题材又较大，这个时期的退潮会比较温柔或混沌，龙头断板不A杀，甚至会形成高位震荡，走2波甚至走穿越的情况，可以称为高位混沌期。

情绪退潮期和情绪冰点期都是赚钱效应最差的阶段，大部分短线玩家的亏损都在这两个阶段。这个阶段，亏损有两大源泉：其一，是看不到情绪退潮的危险信号，在情绪退潮期接力老题材的中高位股；其二，是不等情绪明显回升就盲目、主观接力试错新题材。

3、情绪退潮期应对策略：

除了龙头的抱团走穿越，坚决减仓或者清仓，特别是中位的跟风股，以避免市场继续下跌的风险。情绪退潮期，着重的是筹码结构，如果叠加指数下跌周期，亏钱效应扩散很快，资金争相离场，市场没有接力情绪，各种模式都会失效，最佳策略就是空仓等待，等待情绪退潮期的结束直至情绪冰点期的到来。

END

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