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Epic Center

アプライドマテリアルズは、パートナー企業との半導体プロセス共同開発を加速させるため、40億ドルを投じてカリフォルニア州にEPICセンターを開設しました。このイニシアチブに最初に参加した主要企業は、日本のSCREENホールディングス傘下のSCREEN Semiconductor Solutions（SCREEN SPE）です。

この組み合わせは理にかなっています。アプライドマテリアルズは、材料成膜、エッチング、改質装置の世界的リーダーです。一方、SCREEN SPEは、ウェーハのウェットクリーニングとウェットエッチングにおける最も著名なスペシャリストの1つです。これら2つの分野は一見異なるように見えますが、実際には高度な生産ラインにおいて密接に連携しています。

このパートナーシップは技術的に非常に重要です。チップ製造の各段階（成膜、エッチング、イオン注入）において、ウェーハ表面には残留物や汚染物質が蓄積します。

これらの残留物が次の工程の前に極めて高い精度で除去されないと、歩留まりを低下させる欠陥が発生します。

先端ノード（3nm、2nm）では、欠陥の許容度はほぼゼロです。

したがって、成膜・エッチング工程と中間洗浄工程は、別々に開発・最適化するのではなく、共同で開発・最適化する必要があります。

EPICセンターはまさにこれを可能にします。両社の装置を統合し、共有の研究環境で完全なプロセスシーケンスをテストできるのです。

投資家にとって、このようなパートナーシップは2つのことを示唆しています。第一に、高度なプロセスの複雑化に伴い、単体装置を販売するよりも、統合ソリューションを共同開発できる装置メーカーに高い価値が生まれています。

第二に、SCREENホールディングスは、日本の半導体製造装置市場において依然として重要なプレーヤーであり、欧州の投資家からは過小評価されがちですが、特定のウェハ洗浄装置においてはほぼ独占的な地位を築いています。

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