UPW PID

1               系统结构

此系统由以下三部分组成。

1-1         预处

去除原水中悬浮颗粒、胶状物质。

去除原水中之有机物和氧化性物质。

 

原水箱

 

全自动超滤

 

活性碳过滤器

 

1-2         后处理系统

去除DI 水中离子、TOC、SiO2和细菌,并将DI 水供给抛光系统。

预处理水箱

 

一级RO系统

 

二级RO系统

 

TOC-UV-1

 

CDI系统

 

阴床

 

1-3         抛光系统

完全去除后处理中之微量杂质及离子,并将超纯水供给用户点。

TOC-UV-2

 

一级抛光床

 

终端超滤

 

二级抛光床